BXCEN-M小型真空炉： 主要用于高温、真空环境下对器件进行真空合金、真空扩散、烧结、退火等工艺
设备参数
工作温度：0-1200℃
单点温度控制精度：≤±1.5℃/24h
小型真空炉恒温区长度：200-800mm
升温功率：≤30KW
升温速率：0-20℃/min（可选程序控制，以更改升温速率及保温时间）
保温功率：＜15KW
取料方式：手动进出料/自动进出料（可选）
冷态极限真空度：5.9×10-4Pa
真空室内径：Φ80-Φ350mm
真空室材质：石英/不锈钢
高真空阀、低真空阀：自动/手动
充气阀：自动/手动
真空泵：旋片泵/旋片泵+扩散泵/旋片泵+罗茨泵+扩散泵/旋片泵+分子泵
真空室冷却形式：程序降温/自然冷却
总重量：T
小型真空炉外型尺寸：定制
小型真空炉运行方式：全自动/半自动/手动（可选）
